TY  - THES 
A3  - Díez Fernández, Enrique
AU  - Gil Durán, Javier
PY  - 2021
UR  - http://hdl.handle.net/10366/148899
AB  - [ES]En este TFG se ha realizado un proceso de optimización de creación de una lente de Fresnel a través de litografía electrónica, DRY-ETCHING y evaporación de metales. Además se ahonda en el funcionamiento físico de los sistemas FE-SEM, ICP-RIE y...
AB  - [EN]In this end of degree project an optimization process to create a fresnel zone plate through electronic lithography, DRY-ETCHING and metal evapora­tion has been carried out. Also deepens into the physical operation of the FE-SEM, ICP-RIE and metal...
LA  - spa
KW  - Lente de Fresnel
KW  - Grabado en seco
KW  - Sobredosificación
KW  - Infradosificación
KW  - Fresnel Zone Plate
KW  - Dry-Etching
KW  - Overexposed
KW  - Underexposed
TI  - Diseño y fabricación de una lente de Fresnel por litografía electrónica.
M3  - info:eu-repo/semantics/bachelorThesis
ER  -