TY  - GEN 
AU  - Hoerni, Jean
AU  - Noyce, Robert
AU  - Kilby, Jack
AU  - Fairchild Semiconductors
AU  - Texas Instruments
A4  - CNM
UR  - http://hdl.handle.net/10366/158932
AB  - La fotolitografía (de lithos=piedra y graphos=dibujo o escritura, o sea, dibujar sobre piedra) es uno de los procesos utilizados para plasmar los patrones de los circuitos integrados en las obleas de silicio y es un proceso fundamental en la...
PB  - Universidad de Salamanca. Facultad de Ciencias
KW  - Electrónica y Comunicaciones
TI  - Máscara de fotolitografía
T2  - ELECTRONyCOM-10
ER  -