Diseño y fabricación de una lente de Fresnel por litografía electrónica.

Gil Durán, Javier

Título

dc.contributor.advisor	Díez Fernández, Enrique	es_ES
dc.contributor.author	Gil Durán, Javier
dc.date.accessioned	2022-02-25T09:43:56Z
dc.date.available	2022-02-25T09:43:56Z
dc.date.issued	2021-07
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/10366/148899
dc.description	Trabajo de fin de Grado. Grado en Física. Curso académico 20---20	es_ES
dc.description.abstract	[ES]En este TFG se ha realizado un proceso de optimización de creación de una lente de Fresnel a través de litografía electrónica, DRY-ETCHING y evaporación de metales. Además se ahonda en el funcionamiento físico de los sistemas FE-SEM, ICP-RIE y evaporador de metales aparte de otros equipos también utilizados.	es_ES
dc.description.abstract	[EN]In this end of degree project an optimization process to create a fresnel zone plate through electronic lithography, DRY-ETCHING and metal evaporation has been carried out. Also deepens into the physical operation of the FE-SEM, ICP-RIE and metal evaporator systems apart from other equipment also used.
dc.format.mimetype	application/pdf
dc.language.iso	spa	es_ES
dc.rights	Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 Internacional	*
dc.rights.uri	http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/	*
dc.subject	Lente de Fresnel	es_ES
dc.subject	Grabado en seco	es_ES
dc.subject	Sobredosificación	es_ES
dc.subject	Infradosificación	es_ES
dc.subject	Fresnel Zone Plate	es_ES
dc.subject	Dry-Etching	es_ES
dc.subject	Overexposed	es_ES
dc.subject	Underexposed	es_ES
dc.title	Diseño y fabricación de una lente de Fresnel por litografía electrónica.	es_ES
dc.type	info:eu-repo/semantics/bachelorThesis	es_ES
dc.subject.unesco	22 Física	es_ES
dc.rights.accessRights	info:eu-repo/semantics/openAccess	es_ES