Diseño y fabricación de una lente de Fresnel por litografía electrónica.

Abstract

[ES]En este TFG se ha realizado un proceso de optimización de creación de una lente de Fresnel a través de litografía electrónica, DRY-ETCHING y evaporación de metales. Además se ahonda en el funcionamiento físico de los sistemas FE-SEM, ICP-RIE y evaporador de metales aparte de otros equipos también utilizados.

[EN]In this end of degree project an optimization process to create a fresnel zone plate through electronic lithography, DRY-ETCHING and metal evapora­tion has been carried out. Also deepens into the physical operation of the FE-SEM, ICP-RIE and metal evaporator systems apart from other equipment also used.